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Clean Room(클린룸)이란?

클린룸이란 공기중의 부유 미립자가 한정된 청정도 이하로 관리되고,그 공간에서 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 청정도가 유지되면서 온도,습도, 압력등에 대해서도 관리가 행하여 지는 공간을 말합니다.그외에 실내 기류형상과 속도, 유해가스, 진동, 조도 등에 관하여 환경적으로 제어되는 밀폐공간을 말합니다.
   
 
Clean Room의 5대 원칙

클린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야 할 사항입니다.
   
 
클린룸의 규격

클린룸에 관계 있는 규격은 KS, JIS규격이 있지만 ICR(공업용 크린룸)에는 미국연방 규격(U.S.Fed Std.209D)과BCR에는 (바이오 바이오 크린룸) 미국항공 우주국 규격 (NASA-NHB 5340-2)이 일반적으로 사용되고 있습니다.
클린룸
클라스
미립자
압력
온? 도
습 도
기류/
환기횟수
조 도
입경(㎛)
입자수(EA/ℓ)
(mmAq)
범위
(℃)
권장치
(℃)
오차
(℃)
최고
(%)
최저
(%)
오차
(%)
Lux
1
≥0.1
≤35
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
≥0.2
≤7.5
≥0.3
≤3
≥0.5
≤1
10
≥0.1
≤350
≥0.2
≤75
≥0.3
≤30
≥0.5
≤10
100
≥0.2
≤750
1.25
이상
19.4
~
25
22.2
±2.8~
특별한
경우는
±0.28
45
30
±2.8~
특별한
경우는
±0.28
충류방식
0.45m/s
±20%
난류방식
≤20회/hf
1,080
~
1,620
≥0.3
≤300
≥0.5
≤100
1,000
≥0.5
≤1000
≥5.0
≤7
10,000
≥0.5
≤10,000
≥5.0
≤70
100,000
≥0.5
≤100,000
≥5.0
≤700
   
 
NASA NHB-5340-2의 개요

클린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야 할 사항입니다.
클린룸
클라스
미립자
세?? 균
입경(㎛)
입자수(EA/ℓ)
세균수
(EA/ℓ)
낙하균수
(EA/ℓ)
100
≥0.5
≤100(≤3.5)
≤0.1(0.0035)
1,200
10,000
≥0.5
≤10,000(≤350)
≤0.5(0.0176)
6,000(64,600)
≥5.0
≤65≤2.3)
100,000
≥0.5
≤100,000
≤2.5(0.0884)
30,000(323,000)
≥5.0
≤700
 
Clean Room의 각실간의 필요입력차

Class
압력차(㎜Aq)
청정도 Class가 다른 Clean Room
0.5
Clean Room과 Clean복도.강의실
0.5~1
Clean 강의실 등과 일반실
1.0
Clean Room과 일반실
1.5
 
Clean Room의 Class별 표준적 순환풍량

클린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야 할 사항입니다.
청정도
환기횟수
Class
100
200~600
 
1,000
50~70
 
10,000
30~40
 
100,000
20~30